「论坛报告」先进电子封装中的陶瓷材料及封装技术
电子信息产业已成为国民经济发展的支柱性产业,其中集成电路是我国目前重点支持的高技术产业,而集成电路设计、制造和封装测试是集成电路产业的重要组成部分。微电子封装不但直接影响着集成电路本身的电性能、机械性能、光性能和热性能,影响其可靠性和成本,还在很大程度上决定着电子整机系统的小型化、多功能化、可靠性和成本,微电子封装越来越受到人们的普遍重视,特别是随着5G通讯技术和第三代半导体技术的快速发展,对于微电子封装材料和封装技术提出了更高的要求。
电子封装材料
电子封装基片材料的种类很多,常用基片主要分为塑料封装基片、金属封装基片和陶瓷封装基片3大类,目前以塑料为封装材料最为广泛。但塑料封装材料通常热导率不高、可靠性不好,在要求较高的场合并不适用;金属封装材料热导率高,但一般热膨胀系数不匹配,而且价格较高;陶瓷封装虽然不是主要的封装形式,但其作为一种气密性封装,热导率较高,毫无疑问是今后封装材料的发展方向。
那又有哪些陶瓷材料会被用以电子封装呢?
1、Al2O3陶瓷
Al2O3陶瓷是目前应用最成熟的陶瓷基片材料,其价格低廉,尺寸精度高,与金属的附着欧美综艺力好,耐热冲击性和电绝缘性较好,制作和加工技术成熟是一种综合性能较为理想的基片材料,因而使用最广泛,占陶瓷基片材料的90%。
2、AIN陶瓷
AIN陶瓷基片是一种新型的基片材料,具有优良的热传导性、可靠的电绝缘性、低的介电常数和介电损耗、无毒,以及与硅相匹配的热膨胀系数等一系列优良特性,被认为是新一代高集成度半导体基片和电子器件封装的理想材料,受到了国内外研究者的广泛重视。
但是,AIN陶瓷的制备工艺复杂,成本高,故至今仍未能进行大规模的生产和应用。
3、BN陶瓷
BN具有较好的综合性能,但作为基片材料,它没有突出的优点,价格昂贵,而且热膨胀系数又远小于Si的,易形成较大的热应力(Si在室温至673℃范围内热膨胀系数为(3.5~3.8)×10-6℃),BN目前仍处于研究和推广中。
4、氧化铍(BeO)
BeO材料密度低,具有纤锌矿型和强共价键结构,其粉末与基片均为白色。相对分子量较低,导致材料热导率高,如纯度为99%的BeO陶瓷室温热导率可达310W/(m·K)。其禁带宽度高达10.6eV,介电常数为6.7,弹性模量为350GPa,抗弯强度为200MPa,具有良好的综合性能。
BeO的生产成本很高,这也限制了它的生产和推广应用。其用途仅限于以下几个方面:高功率晶体管的散热片、高频及大功率半导体器件的散热盖板、发射管、行波管、激光管、速调管等。
5、SiC陶瓷
SiC陶瓷的热导率很高,是Al2O3的13倍,而且电绝缘性好,热膨胀系数低于Al2O3和AIN。但是,SiC的介电常数太高,是AIN的4倍,耐压强度低,所以仅适合密度较低的封装而不适合高密度封装。除了用于集成电路组件、阵列组件以及激光二极管等之外,也用于具有导电性的(机构)结构零件。
6、Si3N4陶瓷
Si3N4陶瓷基片具有很高的电绝缘性能和化学稳定性,热稳定性好,机械强度大,除了加压烧结品外,也可做成绝缘薄膜使用,尤其是可用于制造高集成度的大规模集成电路板。
表1:常用封装材料性能对比
目前来说,就材料性质而言,氮化铝和氮化硅无疑是最好的封装材料,但是考虑到成本因素,氧化铝因其突出的性价比应用最为广泛。
电子封装技术
电子陶瓷封装基片的性能与其制备工艺是息息相关的,任何工序都会影响最终产品的质量。从结构与制作工艺而言,陶瓷基板又可分为HTCC、LTCC、TFC、DBC、DPC等。
1、HTCC
HTCC又称为高温共烧多层陶瓷技术。制备过程中先将陶瓷粉(Al2O3或AlN)加入有机黏结剂,混合均匀后成为膏状浆料,接着利用刮刀将浆料刮成片状,再通过干燥工艺使片状浆料形成生坯。然后依据各层的设计钻导通孔,采用丝网印刷金属浆料进行布线和填孔,最后将各生坯层叠加,置于高温炉(1600℃)中烧结而成。
2、LTCC
LTCC又称低温共烧陶瓷技术,其制备工艺与HTCC类似,只是在Al2O3粉中混入质量分数30%~50%的低熔点玻璃料,使烧结温度降低至850~900℃,因此可以采用导电率较好的金、银作为电极和布线材料。
3、TFC
TFC即厚膜陶瓷基板,为一种后烧陶瓷基板。采用丝网印刷技术将金属浆料涂覆在陶瓷基片表面,经过干燥、高温烧结(700~800℃)后制备。金属浆料一般由金属粉末(Ag-Pd或Ag-Pt)、有机树脂和玻璃粉等组成。经高温烧结,树脂粘合剂被燃烧掉,剩下的几乎都是纯金属,由于玻璃质粘合作用在陶瓷基板表面。烧结后的金属层厚度为10~20μm,最小线宽为0.3mm。由于技术成熟,工艺简单,成本较低,TFC在对图形精度要求不高的电子封装中得到一定应用。
4、DBC
DBC又称直接键合铜陶瓷基板,由Al2O3陶瓷基片与铜箔在高温下(1065℃)共晶烧结而成,最后根据布线要求,以刻蚀方式形成线路。由于铜箔具有良好的导电、导热能力,而氧化铝能有效控制Cu-Al2O3-Cu复合体的膨胀,使DBC基板具有近似氧化铝的热膨胀系数,因此,DBC具有导热性好、绝缘性强、可靠性高等优点。
5、DPC
DPC又称直接镀铜陶瓷基板(Direct PlatedCopper)。其制作首先将陶瓷基片进行前处理清洗,利用真空溅射方式在基片表面沉积Ti/Cu层作为种子层,接着以光刻、显影、刻蚀工艺完成线路制作,最后再以电镀/化学镀方式增加线路厚度,待光刻胶去除后完成基板制作。
鉴于陶瓷具有良好的导热性、耐热性、高绝缘、高强度、低热胀、耐腐蚀和抗辐射等优点,陶瓷基板在功率器件和高温电子器件封装中得到广泛应用。目前,陶瓷基片材料主要有Al2O3、AlN、Si3N4、SiC、BeO和BN。由于Al2O3和AlN具有较好的综合性能,两者分别在低端和高端陶瓷基板市场占据主流,而Si3N4基板由于抗弯强度高,今后有望在高功率、大温变电力电子器件(如IGBT)封装领域发挥重要作用。
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